Tự động tái chế khí đuôi Polysilicon 20000Nm3 / H Lọc khí thải

Tự động tái chế khí đuôi Polysilicon 20000Nm3 / H Lọc khí thải

Tự động hóa 20000Nm³/H Làm sạch khí thải Tái chế khí đuôi Polysilicon

Sự miêu tả:

Một số công nghệ đã được cấp bằng sáng chế chưng cất ở giai đoạn trước và giai đoạn sau được áp dụng, và công nghệ này được kết hợp với nhau, đồng thời HCL và chlorosilane được thu hồi từ khí thải silicon đa tinh thể cho toàn bộ thiết bị.Clorosilan có thể được sử dụng làm nguyên liệu thô và độ tinh khiết của khí của sản phẩm có thể vượt quá 99,999%.

Miêu tả quá trình

Để đảm bảo thiết bị hoạt động liên tục và ổn định, người ta sử dụng nhóm 6 tháp hấp phụ để xử lý khí cấp.Luôn có hai tháp hấp phụ trong giai đoạn hấp phụ, và bốn tháp hấp phụ còn lại ở giai đoạn tái sinh.

Áp suất khí thải của phân xưởng CDI từ người sử dụng ~ 1.89mpa đi vào bộ lọc TSA để hấp phụ và thanh lọc.Các tạp chất (hydro clorua và clorosilan) dễ hấp thụ trong khí được hấp thụ trong chất hấp phụ, và hydro không dễ hấp thụ được đưa ra cho người sử dụng sau khi điều chỉnh áp suất.

Sau khi chất hấp phụ được bão hòa, tháp hấp phụ được chuyển sang tháp hấp phụ cấp liệu.Sau khi xả ngược và giảm áp suất, phân tích độ tăng nhiệt độ, làm mát và tăng áp suất, tháp hấp phụ hoàn thành việc chuẩn bị trước khi hấp phụ trở lại, để đạt được hoạt động liên tục và ổn định.

Bây giờ, mỗi bước được giới thiệu như sau:

một．Hấp phụ: khí cấp đi vào tháp hấp phụ từ đáy tháp hấp phụ, và các thành phần có nhiệt độ sôi cao (hydro clorua và clorosilan) được hấp phụ một cách chọn lọc bởi chất hấp phụ, và thành phần có nhiệt độ sôi thấp (hydro) không bị hấp phụ được đưa ra từ đỉnh tháp hấp phụ làm khí sản phẩm.

b．Phóng điện ngược chiều: sau khi hoàn thành bước hấp phụ, khí trong tháp hấp phụ được xả ngược chiều với đường cấp liệu hấp phụ.Sự tái sinh một phần của chất hấp phụ có thể thu được bằng cách giảm áp suất riêng phần của tạp chất bằng cách phóng điện ngược.

c．Phân tích gia nhiệt: sau khi kết thúc quá trình phóng điện ngược chiều, để tái tạo hoàn toàn chất hấp phụ, cần sử dụng hydro sản phẩm đã đun nóng để gia nhiệt chất hấp phụ nhằm hấp thụ các tạp chất trong chất hấp phụ và phân tích lớp chất hấp phụ, tẩy tầng hấp phụ, điều chỉnh khí sau khi truyền nhiệt, và điều chỉnh áp suất vào hệ thống thu hồi khí phân tích để thu hồi clorosilan từ khí phân tích.Nguồn nhiệt của chất hấp phụ là dầu dẫn nhiệt và hydro nóng)

d．Làm nguội: sau bước phân tích tăng nhiệt độ, chất hấp phụ được tái sinh hoàn toàn.Để làm cho chất hấp phụ phát huy hiệu suất hấp phụ tốt hơn, chất hấp phụ cần phải được làm lạnh.Sản phẩm hydro ở nhiệt độ phòng được sử dụng để tẩy lớp hấp phụ để làm mát và dầu truyền nhiệt của tháp hấp phụ được thay thế bằng dầu dẫn nhiệt ở nhiệt độ phòng.

e．Tăng áp: sau bước làm nguội vẫn có sự chênh lệch giữa áp suất tháp hấp phụ và áp suất hệ thống.Để đảm bảo hệ thống hoạt động an toàn và ổn định, người ta dùng hydro sản phẩm để đẩy tháp hấp phụ, sao cho áp suất của tháp hấp phụ gần với áp suất của hệ thống, tránh gây mất ổn định hệ thống khi tháp hấp phụ. được chuyển đổi.

Hệ thống dầu truyền nhiệt được chia thành hệ thống tuần hoàn dầu nóng và hệ thống tuần hoàn dầu lạnh.Người sử dụng cung cấp dầu truyền nhiệt, một phần được gia nhiệt bằng H2 của bộ gia nhiệt sơ bộ để đốt nóng tháp hấp phụ, một phần được gia nhiệt bởi khay trong của tháp hấp phụ để gia nhiệt cho tháp hấp phụ và vật liệu hấp phụ, sau đó trả lại cho chủ hướng dẫn lò hơi dầu nóng để hoàn thành việc tuần hoàn dầu nóng;Dầu truyền nhiệt có thành phần nhiệt độ sôi thấp sau khi được làm nóng được làm nguội rồi đi vào thùng chứa dầu truyền nhiệt cấp thấp.Dầu nguội được tuần hoàn đến tháp hấp phụ để làm mát chất hấp phụ thông qua bơm tuần hoàn dầu truyền nhiệt cho đến khi hoàn thành phân tích.Dầu truyền nhiệt sau khi trao đổi nhiệt được làm mát bằng bộ làm mát sau đó được đưa trở lại két cấp thấp của dầu truyền nhiệt, sau đó được kết thúc tạo thành vòng tuần hoàn dầu nguội.

Các chỉ số kỹ thuật:

Độ tinh khiết: ＞ 99,999%

Công suất: 100 ~ 50000Nm³/ h

Năng suất: ≥99%

Tài liệu tham khảo: